20302018年第04期福建建○筑No04·2018总第238期Fujian Architecture Construction文库电子洁净F房中暖通空调的设计林群(福建省机电建筑设计研究院福建福州350011)摘要：暖通系统设计的合理性直接影响整个洁净厂房使用，因此要设计好洁净厂房前期必须花费大量时间了解整个2030生产的工艺流程。文章首先强调了洁净厂房选址及其平面设计一般性要求，叙及了暖通设计需要相互协调配合的若干专业要项，最后以福州某公司集成电路芯片车间为例，详细阐述了该净化车间空调系统设计。关键词：洁净厂房：暖通空调：洁净度：温度：湿度：自控控制中图分类号：TU83文献标识码：A文章编号：1004-6135(2018)04-012-05The Design of Heating Ventilation Air Conditioning in Electronic Clean PlantLIN QunFujian Mechanical and Electrical Architectural Design and Research Institute,Fuzhou 350011)Abstract:The rationality of the Heating and Ventilation Air Condition(HVAC)system design directly affects the use of the clean plant.Therefore,adequate time must be spent understanding the entire production process prior to the clean plant design.The article emphasizesthe general requirements for the locationand graphic design of the clean plant and outlined several key requirements for the HVAC designthat need to be coordinated with each other.Finally,taking the IC chip plant of a company in Fuzhou as an example,the air conditioningsystem of the purification plant was elaborated in detail.Keywords:Clean plant:HVAC,Cleanliness:Temperature:Humidity,automatic control0应选址在大气含尘浓度、有害物质较少，周围无严重引言污染源的区域，如郊区等日。近年来电子工业的飞速发展，对生产环境的要求1.2总平面布置个越来越严格，推动了洁净室设计技术的快速发展，也厂址确定后，要合理布置总平面，妥善安排生产对洁净室的设计提出了更高的要求。暖通设计在电区与生活区的位置，洁净与非洁净厂房的位置。洁净子洁净厂房设计中起主导作用，其洁净度、温度、湿度厂房应布置在厂区内环境清洁、人流、物流不穿越或等参数的设定好坏直接影响着产品的成品率。基此，少穿越的区域：合理、妥善安排各种可能的污染源位洁净厂房总体设计之前首先要了解所设计的洁净室置：辅助厂房（动力站房）的位置，应尽量靠近主厂的生产工艺特点、工艺流程，了解洁净厂房各功能区房，这样能减少管路和能源的损耗。的划分，确定各个工序（房间）的洁净度等级、温度范1.3平面布置围、湿度范围、压差范围等。进行洁净厂房的平面布洁净厂房平面布置要求：①满足生产工艺要求，置、空间布置，安排好生产区、生产辅助区、动力设施顺应生产工艺流程：②人流、物流短捷、通畅：③主要区的合理布置，设计时应充分考虑人流、物流的合理工序和辅助工序的安排，要求严者上风侧9。布置，同时必须符合现行国家规范中有关安全、消防、2洁净厂房中暖通专业设计环保、职业卫生等各方面的要求。电子洁净厂房的暖通设计需要与其他专业相互1洁净厂房对选址及平面布置要求配合，相互协调。1.1洁净厂房选址(1)工艺专业：提供工艺平面图、需要洁净的区洁净厂房与其他工业厂房的区别是生产环境要域、洁净等级、温度、湿度、单班人数、工艺设备容量、有一定的洁净等级。因此，为了有效控制洁净厂房净工艺冷却水用量、工艺排风量、排风量的性质（如：酸、化空调系统中新风的含尘量，对设有洁净厂房的厂址碱、有机、有毒等)。(2)建筑专业：提供建筑平面图，上下技术夹层作者简介：林群(1983.1一的高度需由工艺专业汇同暖通专业共同确定。E-mail:275359507@q94.c0m(3)结构专业：暖通专业设备（如：空调主机、组收稿日期：2018-02-28合式空调机组、屋面工艺排风机、洗涤塔)荷载处理。(C)1994-2019 China Academic Journal Electronic Publishing House.All rights reserved.http://www.cnki.net2032018年04期总第238期林群·电子洁净厂房中暖通空调的设计1236○(4)电照专业：提供净化空调系统，通风排气系面积约4000m2,洁净等级为百级：温度：23±1℃：相统，消防系统的电源。对湿度：50±5%。最大单班人数200人。工艺设备(5)弱电专业：空调系统自动控制、事故排风系总用电量1407kW(均为电动设备，没有电热设备)。统连锁、消防排烟系统与火灾报警系统连锁等控制。工艺冷却水用量875m3/h,进/出水温2025℃。工艺(6)给排水专业：提供RO水，给MAU加湿提供排风量：酸性气体105700m/h:碱性气体12660m3/水源。h;有机气体16000m3/h;一般热气67700m3/h,不同洁净厂房中暖通设计通常包括以下系统：净化空性质的废气处理措施不一样。调系统（通常为FFU+干盘管+MAU新风处理机3.2净化空调系统选择组)；工艺废气系统（酸、碱、有机、有毒等）：消防排烟经过综合比较采用FFU+干盘管+新风机组MAU○系统：事故通风系统：真空清扫系统。的形式。此系统为温湿度独立控制，干盘管控制室内3○结合实例阐述净化空调系统设计的温度，新风机组控制室内的湿度。气流形式：新风一初中效过滤器→表冷一→加热→加湿→吊顶静压箱→与公3.1工程概况回风混合→FU→送入室内，如图1所示。某公司集成电路芯片车间，位于福州，车间净化203060碳203060双203060双图1净化空调系统流程图3.3冷源计算3.5新风负荷计算包含以下7部分：①人员负荷：②围护结构负荷，选取福州极端气候为设计依据，保证极端气候时③照明负荷：④工艺设备发热量负荷：⑤工艺冷却水不影响室内环境。负荷：⑥FFU发热量负荷：⑦新风负荷。MAU新风机组应有初、中、高效过滤段、一次加20303.4新风量的计算热段、加湿段、表冷段、二次加热段，满足全年全天候取下列两项中的大值：○新风机组的出口温度满足设计要求，如图2所示。(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需新夏季：室外温度经过表冷器处理到干球温度/湿量之和：球温度=12.8℃12.4℃，后经过二次加热段等含湿(2)保证供给洁净室内每人每小时的新风量不量加热到室内干球温度。然后再送入室内上夹层吊◇小于40m3。顶内，如图3所示。库(C)1994-2019 China Academic Journal Electronic Publishing House.All rights reserved.http://www.cnki.net